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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：雙管滑動(dòng)式1200℃四通道混氣CVD系統(tǒng)- OTF -1200X-4- C4LVS

  • 產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1200X-4-C4LVS
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
雙管滑動(dòng)式1200℃四通道混氣CVD系統(tǒng)- OTF -1200X-4- C4LVS OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。
詳情介紹：
OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。 
  
特點(diǎn):  
 雙管滑動(dòng)式1200℃四通道混氣CVD系統(tǒng)- OTF -1200X-4- C4LVS
雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi) 管             
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。      
5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫.
技術(shù)參數(shù)
 
爐體
結(jié)構(gòu)
·                                 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性.
·                                 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放.
·                                 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。
電源
電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)
加熱
溫度
*高溫度: 1100°C
連續(xù)溫度: 1000°C
加熱區(qū)
加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
選擇:   
雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)
 
 
加熱
  和
冷卻
速度
*快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)， 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖可以看出*快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
 ( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )
 
加熱

                        冷卻
石英管
外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm
內(nèi)管:     OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1500 mm )
真空
法蘭
·                                 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
·                                 爐子底部裝有一對(duì)滑軌
·                                 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。
·                                 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。
·                                 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入樣品所在的位置。
左法蘭(點(diǎn)擊放大)
右法蘭 (點(diǎn)擊方大)
   
極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)
溫控儀
·                                 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。
·                                 控溫精度: +/-1°C
混氣
系統(tǒng)
4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.
·                                 MFC 1范圍:  0~100 sccm
·                                 MFC 2范圍:  0~200 sccm
·                                 MFC 3范圍:  0~200 sccm
·                                 MFC 4范圍:  0~500 sccm
氣路: 4 路
流量精度: 0.2%
進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
一個(gè)混氣罐.
每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。  
通過控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖
MFC 面板(點(diǎn)擊放大)
真空泵
·                                 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr.
·                                 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .
·                                 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.
·                                  
選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr     
作為基片用的25um厚的
銅箔 
(選配）
 
生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸（mm)
爐體: 550 x 380 x 520
移動(dòng)架: 600x600x597
凈重
300 lb
保修期
一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)）
認(rèn)證
 CE 認(rèn)證
 
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