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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
HP6加熱板
詳情介紹:
HP6加熱板 ¥18800
1. 全陽極氧化鋁機(jī)身結(jié)構(gòu),簡約美觀
2. 控溫精度高,熱均勻性好,實用性強(qiáng)
3. 加熱輸出獨立電路控制,提高設(shè)備安
全性能
4. 可手動開關(guān)真空吸附基片,緊密接觸
烤膠模式
5. 帶熱輻射式密封蓋,硬質(zhì)陽極氧化鋁
加熱面板
6. 加熱結(jié)構(gòu)沉入式設(shè)計,尺寸小巧,方
便放入手套箱
7. 加熱面板尺寸:φ170mm 圓形
8. 控溫范圍:室溫-250℃
9. 控溫精度:±0.2℃(溫度穩(wěn)定后)
10. 溫度均勻性:≤1%
11. 電源輸入:220V,5A,800W
12. 適用基片尺寸:6 英寸以下晶圓
13. 真空接口:設(shè)備后板出口外徑 6mm
14. 真空輸入要求:0.04-0.09Mpa
真空泵:
1. 額定電壓:220V,50Hz;
2.功率:220W
3.50l/min