CVD-OTF1500X-III-80*氣相沉積系統CVD管式爐   ￥145000

1：▲ *高溫度：1500℃（＜1h） 2· 連續工作溫度：1400℃ 3· 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 4· 升溫速率：≤10℃/min · 熱電偶：s 型 5· 加熱區長度：不少余600mm（200mm+200mm+200mm） 6* 配置不少于1對 ss304 定制水冷不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封 7▲真空系統? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz，壓力恒定控制系統 8? 配置恒定控制系統，其范圍(進氣氣氛為氬氣)： 760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照進氣量為 500sccm）； 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為 300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為 100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為 50sccm） 9 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） 10；4爐供氣系統，量程為甲烷20sccm、氫氣100sccm、氬氣1000sccm和備用500sccm氮氣標定精度：±1.5%FS；線性：±(0.5～1.5)%F.S. 重復精度：±0.2%F.S 11；*尾氣過濾系統，干濕處理，氣管不少5米 質保期 一年質保期，終身維護；質保期1年；

 配置：高溫爐1臺；測溫偶3根；爐管1根；高溫手套1副；管堵4個;爐鉤L：1000mm 1把 ;;內六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法蘭Φ80 1套 ，硅膠密封圈 內徑Φ70,8個；爐管護套1副；說明書1本；質子系統1臺；恒壓控制系統 1臺 。