TF-1700X-III-80*CVD氣相沉積系統(tǒng)CVD管式爐  ￥145000

1：▲ *高溫度：1700℃（＜1h）
溫區(qū) 1: 長期 1300C (1400C<1h)
建議升溫速率: ≤5Cmin
溫區(qū) 2:長期 1600C(1700C<1h)
( T< 1600c); 2C/ min ( T>1600C)溫區(qū)3:長期 1300C (1400C<1h)
建議升溫速率:5°C/ min
建議升溫速率:≤5C 加熱區(qū)長度: 630mm (三溫區(qū): 190mm+250mm+190mm),熱偶: B型(溫區(qū) 2) 和S型(溫區(qū) 1、3) 熱偶,電源:三相 AC380V，50Hz.*大10KW
4* 配置不少于1對 ss304 定制水冷不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封
5▲真空系統(tǒng)? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz，壓力恒定控制系統(tǒng)
6? 配置恒定控制系統(tǒng)，其范圍(進氣氣氛為氬氣)：
760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照進氣量為 500sccm）；
600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為 300sccm）
300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為 100sccm）
180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為 50sccm7
9 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40）
＞10 torr------200torr（±%5）
8；4路供氣系統(tǒng)，量程為甲烷 20 氫氣 200 氬氣 1000，備用的用氮氣調(diào)500氮氣標定精度：±1.5%FS；線性：±(0.5～1.5)%F.S. 重復精度：±0.2%F.S
9；*尾氣過濾系統(tǒng)，干濕處理，氣管不少5米 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期，終身維護，售后服務(wù)：有專業(yè)安裝培訓工程師，7天內(nèi)供貨，24小時內(nèi)上門安裝培訓；質(zhì)保期1年；
配置：高溫爐1臺；測溫偶3根；爐管1根；高溫手套1副；管堵4個;爐鉤L：1000mm 1把 ;;內(nèi)六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法蘭Φ80 1套 ，硅膠密封圈 內(nèi)徑Φ70,8個；爐管護套1副；法蘭Φ60一套 ，質(zhì)子系統(tǒng)1臺；恒壓控制系統(tǒng) 1臺 水機冷機1套 。說明書1本。