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  • 產品名稱：氯氣處理設備

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  • 產品廠商：其它品牌
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氯氣處理設備
詳情介紹：

氯氣處理設備   ￥350000


1、爐子采用開啟式結構，管徑為6cm。*高加熱溫度1400℃或者以上，能在溫度1300℃長期連續工作（單次>120h）；
2、爐子加熱溫區300-500mm，恒溫區大于150mm；
3、真空極限≤1pa，漏率10h≤60pa；
4、氣路接頭需要采用VCR接頭，法蘭和氣柜氣路均用316EP材質；
5、采用四路質子流量控制系統：甲烷（0~20sccm）、氫氣（0~200sccm）、氯氣 (0~200sccm)和氬氣(0~1000sccm)；
6、氯氣需要單獨一路，采用專門的防腐流量計；
7、氣路管道需要具有自動吹掃功能，工藝完畢需要對氯氣管道進行吹掃；
8、氣柜通風和配備三個探測器（甲烷、氫氣和氯氣），泄露自動切斷和報警功能（探測器需要從這些品牌中進行三選一：霍尼韋爾（美國）、 新宇宙（日本）、理研（日本））；
9、實現氫氣和氯氣互鎖，甲烷和氯氣互鎖功能；
10、對于工藝中產生的粉塵，在下游管道中采用過濾器進行有效地集中收集；
11、需要配備真空和恒壓系統；
12、爐管具有過壓保護；
13、需要配備水冷法蘭和水冷機；
14、管堵需要采用不掉渣的致密剛玉管堵或者光滑石英管堵；
15、備用件一套，包括：下游法蘭、下游氣路管、過濾器、管堵和剛玉管。

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