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產品詳情

  • 產品名稱：磁控離子濺射儀

  • 產品型號：CIS400
  • 產品廠商：其它品牌
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簡單介紹：
CIS400磁控離子濺射儀
詳情介紹：

CIS400磁控離子濺射儀   ￥52800


1．濺射靶頭采用平面磁控靶設計；
2．系統采用單片機等微處理器控制，全數字顯示；
3．彩色液晶屏顯示，屏幕不小于 5 英寸；
4．*大功率400W ;
5．濺射真空度可任意設定，且*小調節量 0.1Pa；
6．可存儲不少于 3 種靶材的工作參數；
7．*長濺射時間不小于 800 秒；
8．?、鉑、銀、等常??屬靶材；
9．極限真空優于1Pa；
10.輸入電壓：220V/50Hz
11.濺射電壓：600V
12．工作電流：5-45mA任意可調；
13．可用實時曲線顯示濺射電流和真空度。
14.粒子顆粒大小：6-10nm
15.真空室：?130*130mm 高強度玻璃
16.靶材尺寸：?57*0.12mm（Pt）

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