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RHTC 80/230/16真空摩擦磨損試驗機-1600℃加熱爐 ¥189000
一、高溫管式爐:
1.品牌:納博熱
2.型號:RHTC 80/230/16 型管式爐
3.結構:不開啟式
4.*高溫度:1600℃ 工作溫度達 1500℃,主動性爐殼冷卻降低爐表溫度
5.陶瓷工作管 C799:φ80*600mm 包括 2 個纖維塞頭,用于在空氣環境下運行,包括一個備用陶瓷工作管
6.熱電偶類型:S 型熱電偶 加熱元件:碳化硅加熱元件,易于更換
7.加熱區長度:230mm 恒溫區長度:120mm
8.外形尺寸:600 x 440 x 585mm 電氣:3 相電,7.4KW
9.重量:55kg
二、路供氣系
1. 流量計品牌:Horiba,S48-32
2.流量計標準量程:甲烷 20sccm 氫氣 200sccm 氬氣 1000sccm
3.準確度:±1.0%F.S 工作溫度:4~45℃ 工作壓差:0.1~0.5Mpa *大壓力:3Mpa 壓力表測量范圍:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) 針閥:316 不銹鋼 混氣罐:Φ80*120mm 雙卡套接頭尺寸:Φ6.35mm 外形尺寸:600*600*600mm
三、真空系統
1.真空泵品牌:萊寶
2.型號:D16C 抽速:16m3 /h
3.抽氣口尺寸:KF25 排氣口尺寸:KF25
4.復合變送器品牌:成都睿寶 型號:RBF-2YZv01,KF16 特點:該壓阻電阻復合**壓力變送器在同一管體上, 集成安裝了壓阻規、電阻規兩種壓力檢測傳感器,對同 一檢測腔體的壓力進行檢測。 通過自動切換,充分發揮各自優點,實現 0.5Pa~1.0 ×10 5Pa 整個范圍的準確測量,且 1.0×10 3~1.0×10 5Pa 之間的測量氣體成分無關。
5. 復合變送器品牌:成都睿寶 型號:VGC-EV01
四、安裝要求
將管式爐、供氣系統、真空系統組裝成一套完整CVD材料生長設備,并正常運行。