BTF-1200C-III Φ60mm 三溫區(qū)管式 CVD 設(shè)備  ￥122300

一、高溫管式爐：
1.品牌：貝意克
2.型號(hào)：BTF-1200C-III Φ60mm
3.結(jié)構(gòu)：開啟式
4.*高溫度：1200℃ 工作溫度達(dá) 1100℃，主動(dòng)性爐殼冷卻降低爐表溫度
5. 額定功率：7KW；額定電壓：AC 208-240V Single Phase，50/6
6.加熱元件：電阻絲
7.智能化 30 段可編程控
8.爐管尺寸：高純石英管Φ60*1400mm，加熱區(qū)長(zhǎng)度：300+300+300mm，恒溫區(qū)長(zhǎng)度：500mm 二、路供氣系
1.工作電壓：185~245V，50 Hz；*大輸出功率：18W
2.流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：甲烷 20sccm；氫氣 200sccm；氬氣 1000sccm、（氣體及量程可選）
3.工作壓差：0.1~0.5Mpa；*大壓力：3Mpa；準(zhǔn)確度：±1.5%F.S
4.壓力表測(cè)量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
5.針閥：316 不銹鋼
6.混氣罐：Φ80*120mm
7.截止閥：Φ6.35mm
三、真空系統(tǒng)
1.VAU-02 低真空機(jī)組，內(nèi)部安裝 DRV-10 機(jī)械泵 1 臺(tái)，進(jìn)口真空計(jì) 1 套（型號(hào) PCG550
英福康 INFICON），并含有配套使用的波紋管，手動(dòng)擋板閥，卡箍等連接部件。設(shè)備冷態(tài)極限真空可達(dá) 0.5Pa 四、壓力控制系統(tǒng)
1.壓力控制系統(tǒng)的控壓范圍：100Pa~100KPa
2.電容真空計(jì)品牌：成都正華；控制精度：測(cè)量值±5%
五、安裝要求
將管式爐、供氣系統(tǒng)、恒壓系統(tǒng)組裝成一套完整CVD材料生長(zhǎng)設(shè)備，并正常運(yùn)行。