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產品詳情
簡單介紹:
CSCPIA305射頻真空等離子清洗機
詳情介紹:
CSCPIA305射頻真空等離子清洗機 ¥76500
1、腔體材質:石英腔體
2、電源功率:0-300W可調
3、電源頻率:13.56MHz
4、頻率偏移量:小于0.2KHZ
5、特性阻抗:50歐姆,自動匹配
6、真空度:1pa-30pa 真空泵抽速:4L/S
7、氣體流量10-100ml/min(可調)
8、氣體路數:高精密雙路浮子流量計
9、過程控制:全自動控制與手動(PLC 人機界面)
10、清洗時間:1-60000s可調
11、功率大小:10%-100% 可調
12、腔體尺寸:Φ150×270mm
13、真空室溫度:<30℃