6"等離子清洗機EQ-PDC-001
EQ-PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機，其等離子腔體尺寸為 6"dia x 6.5"。特別適合對有機物和基片表面進行清洗，同時可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預處理，此款設備極為理想。

輸入  功率	AC 110V , 50/60 Hz, < 200W
輸出 頻率	13.56 MHz
功   率	●低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W  ●中檔720V DC 15 mA DC 10.5W  ●**740V DC 40 mA DC 30 W
等離子腔體	尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔體
真    空    泵    和    閥	●儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s,  ●泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭
通入的氣體	腔體中可以通入多種氣體，如N2, Ar, Air ，也可以通入多種混合氣體，以滿足實驗需要 ，不可以通入可燃性氣體進入等離子腔體中
可選 配件	●如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片 ●數字式真空顯示計，可以**顯示石英腔體內的真空度
外型 尺寸	11" H x 18" W x 9" D
細節圖（點    擊    查    看    大    圖）
質保期	一年質保  ( 不包括石英腔體和密封圈)
質量 認證	CE Certified