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產品詳情

  • 產品名稱：高真空電阻熱蒸發鍍膜機

  • 產品型號：VZZ-300S
  • 產品廠商：其它品牌
  • 產品價格：0
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簡單介紹：
VZZ-300S高真空電阻熱蒸發鍍膜機
詳情介紹：

VZZ-300S高真空電阻熱蒸發鍍膜機  ￥170000

凈空間尺寸不小于Φ295×H400mm；主泵分子泵抽速不小于2000m3／h，雙級旋片泵抽速不小30m3／h，主泵需采用國產或進口知名品牌，全量程數顯復合真空計量程：1×105～1×10-5Pa；機械泵抽速需要注明分子泵、雙級旋片泵品牌；真空極限10-8Torr；抽至2×10-6Torr≤15min；*大可處理基片不小于4英寸，均勻性不差于5%，基片臺配有氣動擋板，隨設備提供一塊掩膜板；基片臺旋轉且襯底水冷：旋轉速度0-25轉／分連續可調；不少于3組蒸發源，源間配隔離擋板，源上有獨立擋板；蒸發電源功率不小于2.4KW，采用日本TDK品牌；采用進口品牌石英晶振膜厚監控儀在蒸鍍過程中實時監測蒸發速率，監控膜厚；測量頻率范圍1.0～6.5MHz，速率顯示為0.1A／s，厚度分辨率±0.1A；不少于1個探頭，10片6MHz原裝晶振片；采用PLC手自動控制，觸摸屏操作，采用西門子、三菱或者同等知名品牌；配高精度冷卻循環水機1臺，控溫范圍：5～25℃，控溫精度±0.1℃；整機免費保修期不少于2年，需原廠保修。交貨后需提供技術培訓。要求提供全新分子泵，機械泵，真空計，膜厚監控儀等出廠日期不能超過出廠日期三個月；交貨期：合同簽訂后6周內 

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