TF-1700X-80*CVD晶體生長CVD系統(tǒng)管式爐  ￥120000

1：▲額定功率：5.5KW · 額定電壓：AC220V 50/60HZ · 額定使用溫度：1650℃
· *高使用溫度：1700℃（≤0.5h）
· 建議升溫速率：1400℃以下：≤10℃/min ；1400℃到 1600℃：≤5℃
/min；1600℃以后：≤2℃/min。
· 加熱元件：硅鉬棒
· 熱電偶：B 型,爐腔尺寸：290mm * 220mm * 160mm；
4* 配置不少于1對(duì) ss304 定制水冷不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封
5▲真空系統(tǒng)? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz，壓力恒定控制系統(tǒng)
6? 配置恒定控制系統(tǒng)，其范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣)：
760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照進(jìn)氣量為 500sccm）；
600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進(jìn)氣量為 300sccm）
300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進(jìn)氣量為 100sccm）
180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進(jìn)氣量為 50sccm7
9 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40）
＞10 torr------200torr（±%5）
8；4路供氣系統(tǒng)，量程為甲烷 20 氫氣 200 氬氣 1000，備用的用氮?dú)庹{(diào)500氮?dú)鈽?biāo)定精度：±1.5%FS；線性：±(0.5～1.5)%F.S. 重復(fù)精度：±0.2%F.S
9；*尾氣過濾系統(tǒng)，干濕處理，氣管不少5米 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)，售后服務(wù)：有專業(yè)安裝培訓(xùn)工程師，7天內(nèi)供貨，24小時(shí)內(nèi)上門安裝培訓(xùn)；質(zhì)保期1年；
配置：高溫爐1臺(tái)；測(cè)溫偶1根；爐管1根；高溫手套1副；管堵4個(gè);爐鉤L：1000mm 1把 ;;內(nèi)六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法蘭Φ80 1套 ，硅膠密封圈 內(nèi)徑Φ70,8個(gè)；爐管護(hù)套1副；法蘭Φ60一套 ，質(zhì)子系統(tǒng)1臺(tái)；恒壓控制系統(tǒng) 1臺(tái) 水機(jī)冷機(jī)1套 。說明書1本。