TF-1700X-60*CVD化學氣相沉積CVD系統(tǒng)管式爐  ￥116000

1、▲ *高使用溫度：1700℃（≤0.5h）
·額定使用溫度：1650℃ 建議升溫速率：1400℃以下：≤10℃/min ；1400℃到 1600℃：≤5℃
/min；1600℃以后：≤2℃/min。 額定電壓：AC220V 50/60HZ 額定功率：5.5KW 爐腔尺寸：290mm * 220mm * 160mm
4* 配置不少于1對 ss304 定制水冷不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封
5▲真空系統(tǒng)? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz，壓力恒定控制系統(tǒng)
6? 配置恒定控制系統(tǒng)，其范圍(進氣氣氛為氬氣)：
760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照進氣量為 500sccm）；
600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為 300sccm）
300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為 100sccm）
180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為 50sccm）
7、壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40）
＞10 torr------200torr（±%5）
8、4路供氣系統(tǒng)，量程為甲烷 20 氫氣 200 氬氣 1000，備用的用氮氣調(diào)500氮氣標定精度：±1.5%FS；線性：±(0.5～1.5)%F.S. 重復精度：±0.2%F.S
9、*尾氣過濾系統(tǒng)，干濕處理，氣管不少5米 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期，終身維護，售后服務：有專業(yè)安裝培訓工程師，7天內(nèi)供貨，24小時內(nèi)上門安裝培訓；質(zhì)保期1年；
配置：高溫爐1臺；測溫偶1根；爐管1根；高溫手套1副；管堵4個;爐鉤L：1000mm 1把 ;;內(nèi)六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;硅膠密封圈 內(nèi)徑Φ50,8個；爐管護套1副；法蘭Φ60一套 ，質(zhì)子系統(tǒng)1臺；恒壓控制系統(tǒng) 1臺 水機冷機1套 。說明書1本。