VTC-100PA-UV紫外光旋轉涂膜機、勻膠機   ￥31200

產品介紹

VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、spin coater適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝。該機腔體采用聚丙烯材質，耐腐蝕且使用壽命長，可用于強酸、強堿溶液的涂覆。本機上蓋具有紫外燈光照射的功能，尤其適用于對紫外光敏感的膠體，可使涂覆后的膠體迅速固化；此外紫外燈還具有聚合作用，可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔，注液孔配有膠塞，當腔體需要密閉的環境時應將膠塞堵好。腔體帶有進氣孔，可在勻膠過程中對腔體通保護氣。樣件采用真空吸附方式進行固定，操作簡單，使樣件取放自如。配用專用定心工具可使樣件很容易放在吸盤中心位置，以減少偏心帶來的震動，避免造成飛片。根據樣件的大小可以選擇不同規格的吸盤，吸盤更換簡單方便。本機使用精密直流無刷電機，啟動快、速度穩定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

主要特點
1、采用真空吸盤固定樣件，樣件固定牢固且取放簡單方便；真空吸盤大小可根據需要進行定制。
2、該機上蓋具有紫外燈光照射的功能，紫外光的強度可以在一定范圍內進行調整。
3、本機上蓋中心位置為注液孔，注液孔配有注液孔塞，當腔體需要密閉環境時可使用該孔塞將孔密閉。
4、該機帶有保護氣接孔，可對腔體通保護氣。
5、電機部分、紫外燈光控制部分分別使用獨立的電源進行控制。電機調速系統采用單板機+液晶顯示屏進行控制，數值顯示更直觀可靠；紫光燈采用抗干擾性強的PLC控制器進行控制。
6、本機涂層速度為500-1000RPM，可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段,每段運行參數可獨立設置，可使設備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節約材料。
7、紫光燈真空旋轉涂膜機啟動快速、轉數穩定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。
8、在安裝結構上，采取了減震措施，降低運轉時的噪音。
9、腔體采用聚丙烯材質，使用壽命更長，提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能；機身采用鑄鋁結構，結實耐用且質輕。

安裝條件
1、溫濕度：10-85%RH (at 25℃ 無凝露） 溫度： 0-45℃。
2、設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體。
3、水：無需要
4、電：單相：AC220V 50Hz 國標三極插座 10A 必須有良好接地
5、氣：真空負壓（真空泵）  抽氣流量不小于 70L/M（設備可通保護惰性氣體）
6、工作臺：建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺樶佳）
7、通風裝置：無特殊要求

主要參數
1、供電接口：帶保險電源插座：AC220V 50Hz 保險管規格為 10A、φ5×20mm（此設備支持 AC110V 50/60Hz 產品定制）
2、總功率：≤180W（不含外接真空泵）
3、涂膜主機腔體（材質）：聚丙烯
4、載樣盤（吸盤）：聚丙烯吸盤Φ19mm 、Φ60mm 各一個
5、運行方式：可儲存 12 組程序，每組程序包含 6 個運行階段
6、涂膜轉速：500rpm-10000rpm 有效
7、增減速率：每段增減速率設置范圍：100 rpm —2000 rpm
8、涂膜時間：每段時間范圍：0-60s
9、轉速穩定性：±1%
10、主機控制方式：PCB 單片機 按鍵控制 LMC 液晶顯示屏
11、固化方式：LED 紫光燈珠 16 只
12、固化時間：紫光燈時間設置范圍：1-800s
13、固化功率：紫光燈功率范圍：5-30W 可調
14、固化控制方式：觸摸屏（獨立控制紫光燈系統，與主機控制無關聯）
15、產品規格---外形尺寸：450×280×340mm，重量：18Kg

標準配件
真空吸盤（φ19 mm和φ60 mm）2件
中心定位器  1個
無油真空泵  1臺

可選配件
其它尺寸的真空吸盤
國產移液槍
進口移液槍