PECVD 系統（帶滑軌）管式爐   ￥253000

1：▲ 電源：AC220V/50HZ
· 功率：3.0KW
· 加熱區長度：200mm
· *高溫度：1200 度(≤30min）
· 工作溫度：1100 度
· 熱電偶：K 型
· 智能化儀表，PID 控制，30 段程序控溫
· 爐體可滑動位移：600mm
· 爐管尺寸： φ60*1400mm
2：▲射頻電源·功率輸出范圍：0-500W ·功率穩定度：≤±5W ·射頻頻率：13.56MHZ
·自動匹配
·噪音：≤50dB
·冷卻方式：風冷
3* ·標配一套不銹鋼真空法蘭
·進氣端法蘭上安裝了一個機械壓力表用于觀察爐管內的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa；一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用，并通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷；·出氣端法蘭包含一個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷。一個KF25接口為抽真空接口，用于連接真空系統。一個KF16的接口用于連接電阻真空計。
4▲真空系統? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz，壓力恒定控制系統
5? 配置恒定控制系統，其范圍(進氣氣氛為氬氣)：
760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照進氣量為 500sccm）；
600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為 300sccm）
300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為 100sccm）
180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為 50sccm7
6、 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40）
＞10 torr------200torr（±%5）
7、4路供氣系統，量程為甲烷 20 氫氣 200 氬氣 1000，備用的用氮氣調500氮氣標定精度：±1.5%FS；線性：±(0.5～1.5)%F.S. 重復精度：±0.2%F.S
8、*尾氣過濾系統，干濕處理，氣管不少5米 質保期 一年質保期，終身維護，售后服務：有專業安裝培訓工程師，中標后3天內供貨，24小時內上門安裝培訓；質保期1年；供貨商出具廠家蓋章售后承諾函； 配置：高溫爐1臺；測溫偶1根；爐管1根；高溫手套1副；管堵4個;內六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法蘭Φ60 1套 ，硅膠密封圈 內徑Φ53,8個；爐管護套1副；法蘭Φ60一套 ，質子系統1臺；恒壓控制系統 1臺；說明書1本。