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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：氯氣處理設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
氯氣處理設(shè)備
詳情介紹：

氯氣處理設(shè)備   ￥350000


1、爐子采用開(kāi)啟式結(jié)構(gòu)，管徑為6cm。*高加熱溫度1400℃或者以上，能在溫度1300℃長(zhǎng)期連續(xù)工作（單次>120h）；
2、爐子加熱溫區(qū)300-500mm，恒溫區(qū)大于150mm；
3、真空極限≤1pa，漏率10h≤60pa；
4、氣路接頭需要采用VCR接頭，法蘭和氣柜氣路均用316EP材質(zhì)；
5、采用四路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)：甲烷（0~20sccm）、氫氣（0~200sccm）、氯氣 (0~200sccm)和氬氣(0~1000sccm)；
6、氯氣需要單獨(dú)一路，采用專(zhuān)門(mén)的防腐流量計(jì)；
7、氣路管道需要具有自動(dòng)吹掃功能，工藝完畢需要對(duì)氯氣管道進(jìn)行吹掃；
8、氣柜通風(fēng)和配備三個(gè)探測(cè)器（甲烷、氫氣和氯氣），泄露自動(dòng)切斷和報(bào)警功能（探測(cè)器需要從這些品牌中進(jìn)行三選一：霍尼韋爾（美國(guó)）、 新宇宙（日本）、理研（日本））；
9、實(shí)現(xiàn)氫氣和氯氣互鎖，甲烷和氯氣互鎖功能；
10、對(duì)于工藝中產(chǎn)生的粉塵，在下游管道中采用過(guò)濾器進(jìn)行有效地集中收集；
11、需要配備真空和恒壓系統(tǒng)；
12、爐管具有過(guò)壓保護(hù)；
13、需要配備水冷法蘭和水冷機(jī)；
14、管堵需要采用不掉渣的致密剛玉管堵或者光滑石英管堵；
15、備用件一套，包括：下游法蘭、下游氣路管、過(guò)濾器、管堵和剛玉管。

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