UVO5T紫外臭氧清洗機  ￥36600

紫外臭氧清洗機（UVOzone Cleaner, UVO），是簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）表面上的有機污染物。機子采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調并可選配加熱控溫功能，以達到樶佳清洗效果。

產品特點：
 采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。
 自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
 數字倒 計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
 可隨時手動中斷處理過程。
 自動記錄之前清洗參數設置。
 樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
 頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。
 上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。
 樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
 UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。
 高強度UV燈源，波長185nm和254nm。
 UV反射罩（長x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
 雙重安 全保護，當清洗腔打開時，系統安 全鎖會關掉UV燈，并有燈光通斷提示。
 帶進&出氣口雙氣路設計，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產量。
 可選外置臭氧中和器,用于臭氧清 除。
 可根據用戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。

1、 UV燈尺寸：13x13cm
2、 樣品臺高度：5cm內可調
3、 樣品臺控溫范圍：RT-220℃，控溫精度：0.1℃
4、 進氣、出氣口雙氣路設計
5、 高強度UV燈源、波長185nm、254nm

6、 主機重量6kg，外型尺寸（LxWxH）31x26x20cm