ThetaMetrisis FR-Scanner AllInOne RED/NIR 光學(xué)膜厚儀   ￥446500

1.設(shè)備用途：
透明或半透明的鍍層厚度測量及Mapping測繪

2.設(shè)備性能：
1）設(shè)備配置有用于控制和顯示的*新操作系統(tǒng)的電腦及顯示器；
2) 設(shè)備手動上下片，可實現(xiàn)一鍵多點自動測量；
3) 設(shè)備有自動找點功能,軟件上指定坐標，stage平臺能夠自動把該點送到測量區(qū)域；
4)設(shè)備能夠?qū)y量數(shù)據(jù)進行分析，輸出包括*大值，*小值，平均值，均勻性，擬合度等信息，并形成2D和3D彩色Mapping圖，2D與3D呈現(xiàn)方式體現(xiàn)反射率、厚度、折射率的測量結(jié)果；
5）設(shè)備帶有**設(shè)備參數(shù)分析軟件可對單層或多層的膜層厚度進行測量和分析，能夠進行自動Mapping測量設(shè)置，具有工藝程序編輯功能；

3.規(guī)格:
項目技術(shù)參數(shù)
3.1 測量厚度600nm~300um
3.2 波長范圍600-850nm
3.3 產(chǎn)品測量尺寸*大300mm 晶圓
3.4 測量精度0.2%或25nm（取大者）
3.5 測量速度每測繪2 點1 秒以內(nèi)完成
3.6 Mapping 測繪自動生成Mapping 圖，可以設(shè)置點密度
可根據(jù)需要進行參數(shù)設(shè)定以生成圓形、矩形等分布圖
2D、3D Mapping 顯示
3.7 光源鹵素?zé)簦碚撌褂脡勖?000 小時
*贈送備品鹵素?zé)? 個

具體配置：
1 主機1 臺
2 測量光纖1 個
3 SiO2 膜在Si 片標準片1 個
4 硅參考片1 個
5 氮化硅膜&SiO2 膜在Si 片標準片1 個
6 備用燈泡1 個
7 樣品夾具（本地送貨） 1 個
8 設(shè)備配套外罩（本地送貨） 1 套
9 設(shè)備配套電腦及顯示器（本地送貨） 1 套