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產品詳情

  • 產品名稱：BTF-1200C-III Φ60mm 三溫區管式 CVD 設備

  • 產品型號：
  • 產品廠商：其它品牌
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簡單介紹：
BTF-1200C-III Φ60mm 三溫區管式 CVD 設備
詳情介紹：

BTF-1200C-III Φ60mm 三溫區管式 CVD 設備  ￥122300


一、高溫管式爐：
1.品牌：貝意克
2.型號：BTF-1200C-III Φ60mm
3.結構：開啟式
4.*高溫度：1200℃ 工作溫度達 1100℃，主動性爐殼冷卻降低爐表溫度
5. 額定功率：7KW；額定電壓：AC 208-240V Single Phase，50/6
6.加熱元件：電阻絲
7.智能化 30 段可編程控
8.爐管尺寸：高純石英管Φ60*1400mm，加熱區長度：300+300+300mm，恒溫區長度：500mm 二、路供氣系
1.工作電壓：185~245V，50 Hz；*大輸出功率：18W
2.流量計標準量程：甲烷 20sccm；氫氣 200sccm；氬氣 1000sccm、（氣體及量程可選）
3.工作壓差：0.1~0.5Mpa；*大壓力：3Mpa；準確度：±1.5%F.S
4.壓力表測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
5.針閥：316 不銹鋼
6.混氣罐：Φ80*120mm
7.截止閥：Φ6.35mm
三、真空系統
1.VAU-02 低真空機組，內部安裝 DRV-10 機械泵 1 臺，進口真空計 1 套（型號 PCG550
英福康 INFICON），并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。設備冷態極限真空可達 0.5Pa 四、壓力控制系統
1.壓力控制系統的控壓范圍：100Pa~100KPa
2.電容真空計品牌：成都正華；控制精度：測量值±5%
五、安裝要求
將管式爐、供氣系統、恒壓系統組裝成一套完整CVD材料生長設備，并正常運行。

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