高真空電阻蒸發鍍膜  ￥267000

1.蒸鍍腔體：SUS304 不銹鋼，L×W×H：400×400×500mm（凈尺寸）；真空室內表面及防污板等拋光至鏡面；結構：方形，前后開門；頂部裝配基片臺、基片臺擋板、膜厚儀探頭、真空照明；底部裝配蒸發源；主抽氣口位于腔室底部正中心位置。
2.真空系統：復合分子泵+直聯旋片泵，超高真空氣動插板閥；“兩低一高”數顯復合真空計，型號：ZDF-5227B，測量范圍：1×105～1×10-5Pa；
3.真空極限：優于 2.5×10-5Pa（1.9×10-7Torr）；抽速：分子泵完全啟動，抽至 3.0×10-4Pa≤15min；分子泵：型號 FF-200/1200，進氣口法蘭 CF200，抽氣速率：1200L/s；機械泵：型號 TRP-36，進氣口法蘭 KF40，抽氣速率：9L/s；高真空測量規管采用貴金屬氧化物陰極，具有抗氧化，耐瞬時大氣沖擊的特點，性能穩定，壽命長，規管靈敏度：0.15±15%Pa-1。
4.基片臺：抽屜式結構，基片托尺寸：120×120mm，該范圍內可裝卡各種規格的樣品/基片；樣品臺配有氣動擋板，磁流體密封；樣品臺旋轉：旋轉速度 0-25 轉/分連續可調，磁流體密封，光控定位，設定在前門中心位置方便取樣；樣品掩膜：提供一塊掩膜板
5.蒸發源：安裝 4 組蒸發源；各源均有水冷且獨立，可蒸鍍金屬材料（舟式源/掛絲源）和有機材料（坩堝源/盒式源） 6.蒸發電源：1 臺 2.2KW 蒸發電源，可采用恒流/恒功率控制，可以預設工作電流；
7.膜厚監控：采用 Inficon 薄膜沉積監控儀（型號：SQM-160）在線監測、控制膜厚，1 只水冷探頭；膜厚儀速率顯示分辨率±0.1ā/s，厚度顯示分辨率±0.1ā；
8.操控系統：PLC 手自動控制，觸摸屏操作；
9.報警保護 缺水報警、真空閥門互鎖保護、過流過壓保護、防誤操作保護等。
10.主閥采用超高真空氣動插板閥(CCQ-200)； 預抽閥、前級閥采用高真空氣動擋板閥（GDQ-J40），預抽閥和前級閥智能互鎖；放氣閥采用電磁截止閥（DJ2C-6），可與手套箱連接；
11.備品備件清單：鎢舟 20 個；鉬舟 20 個；有機源坩堝 6 個；高純鋁顆粒 30 克；高純鎳顆粒 30 克；高純鉻顆粒 30 克；高純銅顆粒 30 克；石英晶振片 10 只；CF35 銅墊圈 3 個；設備上相應規格密封圈 1 批；內六角工具 1 套，螺絲 1 批
12.安裝需求：需要與手套箱廠家溝通，配合安裝于手套箱內 。